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Window to the Nano World
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시료는 채취 과정에서 물리적 충격으로 인해 손상되기 쉽기 때문에, 구조 변형이 발생하지 않도록 신중히 수집해야 합니다. 또한 시료의 특성에 따라 적절한 희석 과정을 거치지 않으면 입자 간 응집이 발생하여, SE 모드에서 정확한 형상 정보 확보가 어려울 수 있습니다.
코팅 두께가 너무 적을 경우 Charging Effect에 의해 이미지 노이즈가 발생하고, 너무 두꺼우면 미세 형상을 가릴 수 있어, 5nm – 10nm 정도 적절한 코팅이 필요합니다.
Step 1. 채취된 시료를 전도성 테이프를 이용하여 시료대에 고정합니다.
Step 2. 코팅 장비(SPT-20)를 사용해 시료 표면에 전도성 코팅을 적용합니다.
– 코팅 조건 : 4μA, 200 s
Step 3. 코팅이 완료된 시료를 전자현미경 내부에 장착하고, 표면 형상을 관찰합니다.


주석강판 코팅층 검사
