BSE Sensor Module (Backscattered Electron Detector)은 시료에서 반사되는 고에너지 전자를 검출하여 조성(원자번호) 대비 이미지를 구현하는 고감도 검출 시스템입니다.
원자번호 차이에 따른 명암 대비(Z-contrast)를 통해 서로 다른 물질을 직관적으로 구분할 수 있으며, 금속, 세라믹, 반도체, 복합소재 등 다양한 시료의 분석에 최적화되어 있습니다.
코셈의 BSE Sensor Module은 컴팩트한 모듈 설계로 SEM 시스템에 손쉽게 통합되며, 안정적인 신호 수집과 빠른 응답 속도를 통해 고품질 이미징을 제공합니다.