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Compact EBSD(Electron Backscatter Diffraction)는 Tabletop SEM 환경에서도 정밀한 결정 구조 분석을 가능하게 하는 초소형 결정방위 분석 시스템입니다. 전자빔과 시료 간 상호작용으로 생성되는 회절 패턴을 분석하여, 결정 방향(Orientation), 상(Phase), 결정립 구조(Grain Structure)를 정밀하게 측정할 수 있습니다.
기존 대형 SEM에서만 가능했던 EBSD 분석을 컴팩트한 모듈로 구현하여, 공간 제약이 있는 환경에서도 손쉽게 고급 결정 분석을 수행할 수 있으며, 연구소뿐만 아니라 산업 현장에서도 높은 활용도를 제공합니다.
“Crystallography, Now in Tabletop SEM”
Key benefits
Air-Protection Module