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Window to the Nano World
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SEM
CX Series는 연구개발, 품질관리, 산업 분석 등 다양한 분석 환경에서 안정적인 성능과 높은 활용성을 제공하는 COXEM의 Normal SEM 라인업입니다. 신입 사용자부터 숙련된 사용자까지 모두 쉽게 운용할 수 있도록 설계되었으며, 직관적인 조작 환경과 안정적인 전자광학 성능을 바탕으로 선명하고 재현성 높은 이미지를 제공합니다.
CX-200K와 CX-300으로 구성된 CX Series는 SE 및 BSE 검출기를 기본으로 지원하여 표면 형상 정보와 조성 대비 정보를 함께 확인할 수 있습니다. 내부 챔버뷰 카메라를 통해 시료 위치 확인과 스테이지 조작을 직관적으로 수행할 수 있으며, CX-300은 확장된 챔버 구조와 네비게이션 카메라를 통해 비교적 큰 시료나 다수의 샘플 분석에도 유연하게 대응할 수 있습니다.
또한, 스테이지의 기울기 및 높이 조절이 용이하여 다양한 시료 조건에서도 안정적인 분석이 가능하며, 최대 500,000배까지 지원하는 고배율 이미징 성능을 통해 세밀한 구조 관찰이 가능합니다. CX Series는 기본 분석부터 고배율 관찰, 다양한 시료 대응까지 폭넓은 활용성을 제공하는 효율적인 Normal SEM 솔루션입니다.
“From Structure to Insight”
Home : Stage의 좌표 0.0점 위치
NaviCam : 샘플 로딩 시, Cam으로 시료 실제 이미지를 저장
Center : 시료를 Stage의 좌표 가운데 위치로 정렬
Stop : Stage의 움직임을 수동으로 멈춤
H.D (Home Disable) : 해당 Stage의 축이 Home 위치로 이동하는 것을 비활성화
Move : 시료의 저장된 위치로 이동
Modify : 시료의 이름을 수정
Delete : 시료의 저장된 위치를 삭제
CX-300은 대면적에서 나노입자의 크기, 분포, 조성 등의 결과를 체계적으로 분류하는 나노입자 분석 솔루션을 제공합니다.