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Window to the Nano World
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Ion Sputter Coater
이온코터인 SPT-20은 DC 스퍼터링 원리를 이용하여 시료 표면에 전도성 물질(Au,Pt,Pd,Pt-Pd)을 코팅하는 장치입니다. 비 전도체인 시료도 전자현미경에서 관찰을 위하여 사용하며, 시료표면을 주사된 전자빔으로부터 보호와 전자흐름을 도와주는 장비입니다. 또한 얇은 박막형태의 전극 형성으로도 사용이 가능합니다.