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SEM
Tabletop SEMEM-30/EM-30P/EM-30N
EM-30 Series는 기본 성능과 확장성을 균형 있게 갖춘 스탠다드 Tabletop SEM입니다. SE 검출기를 기본으로 제공하며, BSE 검출기 및 EDS를 옵션으로 확장할 수 있어 사용 목적에 따라 유연한 구성이 가능합니다. 최대 100,000배 배율과 15 nm 분해능을 지원하며, 직관적인 운용성과 안정적인 성능을 바탕으로 연구, 품질관리, 교육 등 다양한 분야에서 누구나 쉽게 활용할 수 있습니다.
EM-30, EM-30P, EM-30N으로 구성된 EM-30 Series는 기본 분석부터 고배율 관찰, 넓은 영역의 파노라마 스캔까지 다양한 관찰 요구에 대응합니다. 합리적인 비용으로 필수 SEM 성능을 제공하여 초기 도입 부담을 줄이면서도 높은 활용성을 확보할 수 있으며, EDS와의 호환을 통해 시료의 형상 관찰과 성분 분석을 함께 수행할 수 있는 효율적인 SEM 솔루션입니다.
Effect of High Resolution
EM-30은 고 배율 이미지 관찰이 가능하다는 장점이 있습니다.
또한 전압, 작동거리, 전자 빔의 크기를 조절하여 고 분해능 이미지를 효과적으로 얻을 수 있습니다.
나노튜브(10만배)
세라믹(10만배)
금 입자(10만배)
실리콘 웨이퍼(5만배)
실리콘 웨이퍼(5만배)
Dual Display / Signal Mixing Mode
- Dual Display Mode
듀얼 디스플레이 모드를 사용하여 SE, BSE 이미지를 한눈에 볼 수 있습니다. - Signal Mixing Mode
SE, BSE 이미지를 병합하여 시료의 형상과 성분 분포를 한번에 볼 수 있습니다.
SE
BSE
SE+BSE
Duplex Navi
NS. 4.11는 NaviCAM과 Mini map 기능을 이용하여 사용자가 원하는 홀더 위치에서 SEM 이미지를 얻으면 시료에서 지도를 얻게되어 어느 배율에서나 샘플의 위치를 정확하게 찾을 수 있습니다.
- CCD Navi Cam 또는 Sample Holder map을 사용하여 샘플에서 샘플 또는 큰 샘플의 영역으로 이동하여 분석
- MiniMap 이미지를 사용하여 샘플 내에서 이동하는 시료의 위치 분석
- 시료에서 윈하는 위치를 찾아서 이미지를 클릭하거나 이미지 이동 컨트롤을 사용하여 관심있는 샘플의 정확한 위치를 찾기
Panorama Shot
파노라마 기능을 이용하여 고배율에서 매우 넓은 범위의 이미지를 얻을 수 있습니다.
Auto Brightness Contrast
사용자가 1초 만에 최적의 이미지를 얻을 수 있습니다.
Multi-Sample holder
파노라마 기능을 이용하여 고배율에서 매우 넓은 범위의 이미지를 얻을 수 있습니다.
Navigation Camera
챔버 내에 내장된 광학 카메라를 이용하여 실제 샘플의 위치를 파악 할 수 있으며, 원하는 위치로 이동이 가능합니다.
Line Profile tool
Line-profiling 기법을 통하여 나노스케일의 step으로 보다 더 면밀하게 크기 및 사이즈를 측정 할 수 있어 더 자세한 데이터를 제공합니다.
