전자현미경(SEM) 기업 코셈이 영국 옥스포드 인스트루먼트에 이온 폴리셔(Ion Polisher) 초도 물량을 납품한다고 29일 밝혔다.

지난해 7월 제조자 개발 생산(ODM) 공급계약을 체결한 후 1년 2개월 만이다. 초도 물량 규모는 약 33만달러(약 4억5000만원)다. 코셈 이온 폴리셔는 옥스포드 인스트루먼트의 글로벌 판매망으로 유럽·북미·아시아 등 주요 시장에 공급된다.

옥스포드 인스트루먼트는 후방 산란 전자 회절(EBSD:Electron Backscatter Diffraction) 분석기와 코셈 이온 폴리셔를 패키지로 구성해 공급한다. EBSD는 전자현미경에 부착해 금속·세라믹·반도체 등 결정질 재료의 결정 구조를 분석하는 장비다.

이온 빔 폴리셔는 전자현미경으로 물체를 관찰하기 전, 이온 빔으로 시료(샘플) 표면을 정밀하게 식각·연마하는 전처리 장비다. 기존 기계적 연마 방식은 표면에 비세한 변형층을 발생시켜 분석 신호에 영향을 줄 수 있었다.

글로벌 경쟁사들의 집속 이온 빔(FIB:Focused Ion Beam)-SEM 시스템과 유사하다. 가공 면적과 속도가 다르다. FIB-SEM은 수 마이크로미터(㎛) 이하의 극소 부위만 송곳처럼 정밀 가공할 수 있다. 나노 단위 결함을 정밀 분석할 때 적합하다.

이온 빔 폴리셔는 최대 수 mm의 넓은 면적을 시간당 1000㎛씩 빠르게 깎을 수 있다. 반도체 분야에선 고대역폭메모리(HBM)의 실리콘관통전극(TSV)·미세 금속 돌기(마이크로 범프), 다층세라믹커패시터(MLCC) 내부 층 등 구조·결함 확인에 활용할 수 있다.

코셈은 4년 이상의 제품 개발과 평가 과정을 거쳐 옥스포드 인스트루먼트와 ODM 공급계약을 체결했다. ODM은 제조사가 설계와 개발부터 생산까지 맡는 방식이다. 주문자가 설계한 제품을 생산만 하는 주문자 상표 부착 생산(OEM)과 다르다.

코셈은 "옥스포드 인스트루먼트의 글로벌 판매망으로 코셈의 이온 폴리셔 공급이 본격화될 것"이라며 "자체 설계·개발한 장비로 글로벌 기업의 공급망에 진입한 것에 의의가 있다"고 강조했다.

출처 : 디일렉(THE ELEC) 정일주 기자(https://www.thelec.kr)