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제품 소개

SELPA(Scanning ELectron Microscope for Particle Analysis)는  일반 주사전자현미경(SEM) 제품을 기반으로 개발된 대면적 자동화 미립자 분석장비로서, 산업 어플리케이션에서 다양한 입자의 사이즈 측정, 성분(비율)분석, 분포도 등의 결과물을 확인 할 수 있는 자동화 이미지 및 성분 분석 장비 입니다. 일반 광학 현미경을 통한 청정도(미립자) 장비에 비해 더 작은 입자크기를 분석할 수 있으며, 선택영역에 대한 성분(분포도) 분석 결과를 얻을 수 있는 SEM/EDS 자동화 장비 입니다.

어플리케이션

- 청정도 검사 

- 금속 개재물 검사

- 화약 잔유물 검사

- 광물, 석면 검사

- 미립자 검사



 

제품사양

Electron GunPre-centered Cartridge
SourceTungsten (W)
Magnification x60 to x5,000
Acceleration Voltage1 to 30kV (1kV increment)
Vacuum ModeVariable Pressure (10Pa, 20Pa, 40Pa, 60Pa)
DetectorBSED(DP)
Stage X: 100mm (Motorized)
Y: 100mm (Motorized)
Z: 12 to 40mm (Motorized)
Chamber Size220mm in diameter
Maximum Sample Size 100mm in diameter
Maximum Sample Height28mm
GUINanoStation 4.1
Auto Image AdjustmentAuto Focus (New algorism)
Real Time Auto B/C (Normalized algorism)
One click Auto B/C
Auto filament
Auto Start
Vacuum SystemTurbo Pump
Rotary Pump
MFC (VP control)
Special FeatureChamber View Camera
Quadriad Membrane Filter Specimen Stage
Multiple Pin Stub Specimen Stage
Specimen Map
Image Filtering
Color Measurement Tool
Large Area Map
Location Save & Load
EDSOxford / Bruker
EDS OptionClean / Steel / GSR / Mineral

Optional Products

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