COXEM

옵션 제품 STEM은 테이블탑 주사전자현미경 기반을 활용하여 전자총에서 발생된 전자빔을 시료에 이차원적으로 주사하면서 투과한 전자를 검출하여 투과 이미지를 형성하는 분석 장치이다.

 이를 통하여 생명과학 분야에서는 표면 아래 숨은 셀(Cell) 혹은 조직(Structure)에 대한 전보를 관찰하며, 재료과학 분야에서는 작은 점자빔과 풍부한 휘도를 이용한 나노 구조물 관찰에 활용된다.

 또한 기존의 글로벌 브랜드에서 선보인 SEM 기반의 STEM 분석장치에서는 크게 3가지 사항의 제약으로 인하여 STEM 모드에서 EDS 분석이 불가 혹은 제한이 따랐다. 코셈의 STEM은 기존의 이러한 문제를 구조적으로 그리고 새로운 기술을 접목시켜 해결하여 STEM 모드에서 EDS 분석 자유롭게 사용할 수 있게 되었다.

 일반적인 SEM 기반 STEM에서는 시료대와 그리드 시료와의 간섭 문제로 EDS 성분 분석시 경원소 분석의  제한이 따르며, 대물렌즈와 시료대와의 작동거리가 짧아 EDS 분석을 위해서는 작동거리의 변경이 불가피했다. 또한 STEM 검출기와 시료대와의 구조로 인하여 EDS 성분 분석시 STEM 검출기의 원소가 검출되는 한계가 있다.

 코셈의 새로운 제품은 이러한 문제를 해결하기 위해 STEM 시료대와 그리드 시료의 간섭이 발생치 않도록 재질 및 구조를 개선하였으며, 이를 통한 경원소 (B to F) 분석이 가능하며, STEM 모드시 사용하는 작동거리를 EDS 분석시에도 동일한 작동거리를 사용함으로써 STEM모드와 EDS 모드를 동시에 활용할 수 있도록 구조적으로 개선을 하였다.

STEM은 전자총에서 발생된 전자빔을 시료에 이차원적으로 주사하면서 투과한 전자를 검출하여 투과 이미지를 형성하는 분석 장치이다. 

이를 통한 표면 아래 숨은 셀(Cell) 혹은 조직(Structure)에 대한 정보를 관찰하며, 작은 전자빔과 풍부한 휘도를 이용한 나노 구조물에 활용이 된다.