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Cross Section Polisher

CP-8000

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제품소개

COXEM의 CP-8000은 Cross section Polisher로 단면 가공 장비입니다. 이는 Ar 플라즈마를 이용하여 시료의 가공변화 없이 단면을 식각하는 장비로써 시료내부의 상태를 SEM 이미지와 함께 기타분석 장비 (EDS,WDS,EBSD,etc)와 동시분석을 활용하기에 적합한 시스템입니다.

어플리케이션

제품사양

Gas Used	Ar(Argon) gas
Milling Speed	150 μm/h (Si at 5kV)
Accelerating Voltage	2~8 kV
Beam Diameter	Approx. 500 μm
Working Pressure	2.0 x 10-4 torr
Beam Alignment	Precision beam alignment using fluorescent screen
Maximum Sample Size	20(W) x 12(D) x 7(H)mm
Sample Moving Range	(Z: ±2mm, Y: ±2mm)
Rotation	-35° ~ +35°
Operation	Touch panel,(7 inch display)
Evacuation System	Turbo-molecular pump (66L/s) + Rotary Pump 100L
Dimension	590(W) x 440(D) x 260(H)mm
Weight	Main unit 30kg, Rotary pump 23kg
Optional Accessories	CCD Camera for viewing the specimen during milling

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