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제품소개
COXEM의 CP-8000은 Cross section Polisher로 단면 가공 장비입니다. 이는 Ar 플라즈마를 이용하여 시료의 가공변화 없이 단면을 식각하는 장비로써 시료내부의 상태를 SEM 이미지와 함께 기타분석 장비 (EDS,WDS,EBSD,etc)와 동시분석을 활용하기에 적합한 시스템입니다.
어플리케이션
제품사양
Gas Used | Ar(Argon) gas |
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Milling Speed | 150 μm/h (Si at 5kV) |
Accelerating Voltage | 2~8 kV |
Beam Diameter | Approx. 500 μm |
Working Pressure | 2.0 x 10-4 torr |
Beam Alignment | Precision beam alignment using fluorescent screen |
Maximum Sample Size | 20(W) x 12(D) x 7(H)mm |
Sample Moving Range | (Z: ±2mm, Y: ±2mm) |
Rotation | -35° ~ +35° |
Operation | Touch panel,(7 inch display) |
Evacuation System | Turbo-molecular pump (66L/s) + Rotary Pump 100L |
Dimension | 590(W) x 440(D) x 260(H)mm |
Weight | Main unit 30kg, Rotary pump 23kg |
Optional Accessories | CCD Camera for viewing the specimen during milling |
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